半導体製造を支えるクリーンルーム

こんにちは!

英和商工株式会社です。当社は、大阪、東京、中四国を拠点に、全国の空調設備のメンテナンスや工事を手掛けています。

本日は、半導体製造に欠かせない「クリーンルーム」について詳しく解説します。


半導体は、スマートフォン、家電、車載デバイスなど、現代社会のあらゆる分野で必要不可欠な存在です。その製造過程では、微粒子の混入が不良品の発生要因となります。

ここで、クリーンルームが果たす役割が極めて重要です。

本記事では、クリーンルームの基本的な仕組みから最新技術、さらに運用のポイントまで幅広くご紹介します。


クリーンルームとは?基本を解説

クリーンルームは、空気中の微粒子や微生物を極力排除し、清浄な環境を提供するための特殊な空間です。微細加工を必要とする半導体製造では、このクリーンな環境が製品の品質を大きく左右します。


1. 空気清浄のメカニズム

クリーンルームでは、外気がHEPAフィルター(High-Efficiency Particulate Airフィルター)やULPAフィルター(Ultra Low Penetration Airフィルター)を通じて浄化されます。HEPAフィルターは、0.3μm以上の粒子を99.99%以上捕集する性能を持ち、ULPAフィルターはさらに小さな粒子も捕集可能です。


2. クリーン度の「クラス」とは?

クリーンルームの清浄度は、「クラス」という指標で示されます。例えば、クラス1の環境では、0.5μm以上の粒子が1立方フィートあたり1個以下しか存在しません。この厳しい基準を守ることで、半導体製造に必要な高い品質が保たれます。



クリーンルームの方式:層流方式と乱流方式

クリーンルームの運用には、空気の流れを制御する方式が大きく関わります。それぞれの特徴を詳しく見ていきましょう。


1. 層流方式(Laminar Flow)

層流方式では、天井全体に配置されたフィルターから一方向に空気を流します。この方法は、高い清浄度を必要とする半導体前工程に多く採用されています。


メリット:不純物が滞留しにくく、高い清浄度を維持できる。

デメリット:導入コストが高く、施設のレイアウト変更が難しい。


2. 乱流方式(Turbulent Flow)

乱流方式では、天井や壁に設置したフィルターから空気を送り込み、部屋全体を攪拌して微粒子を希釈します。


メリット:導入コストが低く、既存施設にも適用しやすい。

デメリット:一部で空気が滞留する可能性があるため、清浄度は層流方式に劣る。

半導体製造にクリーンルームが欠かせない理由

半導体の製造工程は、前工程と後工程に分かれます。


前工程:シリコンウェハーに集積回路を作成する工程。ナノスケールの精密な作業が求められるため、クラス1などの最高レベルの清浄度が必要です。

後工程:ウェハーをチップに切り出し、端子や樹脂を付けて完成させる工程。前工程ほど厳しい清浄度は必要ありませんが、クリーンルーム内で作業を行います。

微粒子が製品に付着すると、電気特性に影響を及ぼし、不良品の発生や信頼性低下を招きます。そのため、清浄度の高い環境を維持することが半導体工場の命題となっています。

クリーンルーム技術の進化

近年、クリーンルーム技術は大きな進化を遂げています。


1. 省エネルギー設計

従来のクリーンルームは多くのエネルギーを消費していましたが、最近では省エネルギー設計が普及しています。効率的な空気循環システムやフィルターの再利用が可能になり、運用コストの削減が進んでいます。


2. AIとIoTの活用

AIを活用した異物検出システムやIoTセンサーによるリアルタイムモニタリングが導入されています。これにより、異物混入の早期発見やトラブル防止が実現し、運用効率が向上しています。


3. モジュール型クリーンルーム

従来の固定型クリーンルームに代わり、柔軟に移動や拡張が可能なモジュール型クリーンルームが注目されています。これにより、施設のスペース効率が向上し、コストも抑えられます。


まとめ:クリーンルームの価値を最大限に引き出す

クリーンルームは、単なる製造施設ではなく、製品の品質と信頼性を支える重要な基盤です。特に半導体業界では、その役割がますます重要になっています。




空調設備やクリーンルームの導入・メンテナンスをご検討の際は、ぜひ専門企業にご相談ください。


私たち英和商工株式会社では、最適なクリーン環境の実現を全力でサポートいたします。

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